సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్‌లను అన్వేషించడం: పనితీరు ప్రయోజనాలు మరియు అప్లికేషన్ అవకాశాలు

నేటి ఎలక్ట్రానిక్ టెక్నాలజీ రంగంలో, సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు కీలక పాత్ర పోషిస్తున్నాయి. వాటిలో,సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC)విస్తృత బ్యాండ్ గ్యాప్ సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌గా, అధిక బ్రేక్‌డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్, అధిక సంతృప్త వేగం, అధిక ఉష్ణ వాహకత వంటి అద్భుతమైన పనితీరు ప్రయోజనాలతో, క్రమంగా పరిశోధకులు మరియు ఇంజనీర్ల దృష్టిని కేంద్రీకరిస్తోంది. దిసిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్, దానిలో ఒక ముఖ్యమైన భాగంగా, గొప్ప అప్లికేషన్ సామర్థ్యాన్ని చూపించింది.

ICP刻蚀托盘 ICP ఎచింగ్ ట్రే
一、ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్ పనితీరు: పూర్తి ప్రయోజనాలు
1. అల్ట్రా-హై బ్రేక్‌డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్: సాంప్రదాయ సిలికాన్ మెటీరియల్‌లతో పోలిస్తే, బ్రేక్‌డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్సిలికాన్ కార్బైడ్10 రెట్లు ఎక్కువ. అంటే అదే వోల్టేజ్ పరిస్థితుల్లో, ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలను ఉపయోగించడంసిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్‌లుఅధిక ప్రవాహాలను తట్టుకోగలదు, తద్వారా అధిక-వోల్టేజ్, అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ, అధిక-శక్తి ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలను సృష్టించడం.
2. హై-స్పీడ్ సంతృప్త వేగం: యొక్క సంతృప్త వేగంసిలికాన్ కార్బైడ్సిలికాన్ కంటే 2 రెట్లు ఎక్కువ. అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక వేగంతో పనిచేయడం, దిసిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్మెరుగ్గా పని చేస్తుంది, ఇది ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది.
3. అధిక సామర్థ్యం గల ఉష్ణ వాహకత: సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క ఉష్ణ వాహకత సిలికాన్ కంటే 3 రెట్లు ఎక్కువ. ఈ ఫీచర్ నిరంతర అధిక-పవర్ ఆపరేషన్ సమయంలో ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలను వేడిని బాగా వెదజల్లడానికి అనుమతిస్తుంది, తద్వారా వేడెక్కడం మరియు పరికర భద్రతను మెరుగుపరుస్తుంది.
4. అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం: అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం మరియు బలమైన రేడియేషన్ వంటి తీవ్రమైన వాతావరణంలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ పనితీరు మునుపటిలానే స్థిరంగా ఉంటుంది. ఈ ఫీచర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్‌ను సంక్లిష్ట వాతావరణాల నేపథ్యంలో అద్భుతమైన పనితీరును నిర్వహించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది.
తయారీ ప్రక్రియ: జాగ్రత్తగా చెక్కబడింది
SIC ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్ తయారీకి సంబంధించిన ప్రధాన ప్రక్రియలలో భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (PVD), రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల ఉన్నాయి. ఈ ప్రక్రియలలో ప్రతి దాని స్వంత లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది మరియు ఉత్తమ ఫలితాలను సాధించడానికి వివిధ పారామితుల యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరం.
1. PVD ప్రక్రియ: బాష్పీభవనం లేదా స్పుట్టరింగ్ మరియు ఇతర పద్ధతుల ద్వారా, SiC లక్ష్యం ఒక ఫిల్మ్‌ను రూపొందించడానికి ఉపరితలంపై నిక్షిప్తం చేయబడుతుంది. ఈ పద్ధతి ద్వారా తయారు చేయబడిన చలనచిత్రం అధిక స్వచ్ఛత మరియు మంచి స్ఫటికాకారతను కలిగి ఉంటుంది, అయితే ఉత్పత్తి వేగం సాపేక్షంగా నెమ్మదిగా ఉంటుంది.
2. CVD ప్రక్రియ: అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద సిలికాన్ కార్బైడ్ మూల వాయువును పగులగొట్టడం ద్వారా, అది ఒక సన్నని పొరను రూపొందించడానికి ఉపరితలంపై నిక్షిప్తం చేయబడుతుంది. ఈ పద్ధతి ద్వారా తయారు చేయబడిన చలనచిత్రం యొక్క మందం మరియు ఏకరూపత నియంత్రించదగినవి, కానీ స్వచ్ఛత మరియు స్ఫటికాకారత తక్కువగా ఉన్నాయి.
3. ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల: రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ పద్ధతి ద్వారా మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ లేదా ఇతర మోనోక్రిస్టలైన్ పదార్థాలపై SiC ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదల. ఈ పద్ధతి ద్వారా తయారు చేయబడిన ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ సబ్‌స్ట్రేట్ మెటీరియల్‌తో మంచి మ్యాచింగ్ మరియు అద్భుతమైన పనితీరును కలిగి ఉంది, అయితే ఖర్చు చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది.
三、 అప్లికేషన్ అవకాశం: భవిష్యత్తును ప్రకాశవంతం చేయండి
పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ సాంకేతికత యొక్క నిరంతర అభివృద్ధి మరియు అధిక పనితీరు మరియు అధిక విశ్వసనీయత కలిగిన ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలకు పెరుగుతున్న డిమాండ్‌తో, సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్‌కు సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో విస్తృత అప్లికేషన్ అవకాశం ఉంది. ఇది పవర్ ఎలక్ట్రానిక్ స్విచ్‌లు, ఇన్వర్టర్లు, రెక్టిఫైయర్‌లు మొదలైన అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ హై-పవర్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. అదనంగా, ఇది సౌర ఘటాలు, LED మరియు ఇతర రంగాలలో కూడా విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.
దాని ప్రత్యేక పనితీరు ప్రయోజనాలు మరియు తయారీ ప్రక్రియ యొక్క నిరంతర అభివృద్ధితో, సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్ క్రమంగా సెమీకండక్టర్ రంగంలో దాని గొప్ప సామర్థ్యాన్ని చూపుతోంది. సైన్స్ అండ్ టెక్నాలజీ భవిష్యత్తులో, ఇది మరింత ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తుందని నమ్మడానికి మాకు కారణం ఉంది.

 

పోస్ట్ సమయం: నవంబర్-28-2023