సన్నని ఫిల్మ్ యొక్క షీట్ నిరోధకతను ఎలా కొలవాలి?

సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఉపయోగించే పలుచని ఫిల్మ్‌లు ప్రతిఘటనను కలిగి ఉంటాయి మరియు ఫిల్మ్ రెసిస్టెన్స్ పరికరం యొక్క పనితీరుపై ప్రత్యక్ష ప్రభావాన్ని చూపుతుంది. మేము సాధారణంగా చిత్రం యొక్క సంపూర్ణ ప్రతిఘటనను కొలవము, కానీ దానిని వర్గీకరించడానికి షీట్ నిరోధకతను ఉపయోగిస్తాము.

షీట్ రెసిస్టెన్స్ మరియు వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ అంటే ఏమిటి?

వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీని వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ అని కూడా పిలుస్తారు, ఇది పదార్థం యొక్క స్వాభావిక ఆస్తి, ఇది పదార్థం విద్యుత్ ప్రవాహానికి ఎంత ఆటంకం కలిగిస్తుందో వివరిస్తుంది. సాధారణంగా ఉపయోగించే చిహ్నం ρ సూచిస్తుంది, యూనిట్ Ω.

షీట్ రెసిస్టెన్స్, షీట్ రెసిస్టెన్స్ అని కూడా పిలుస్తారు, ఇంగ్లీష్ పేరు షీట్ రెసిస్టెన్స్, ఇది యూనిట్ ప్రాంతానికి ఫిల్మ్ రెసిస్టెన్స్ విలువను సూచిస్తుంది. వ్యక్తీకరించడానికి సాధారణంగా ఉపయోగించే చిహ్నాలు Rs లేదా ρs, యూనిట్ Ω/sq లేదా Ω/□

రెండింటి మధ్య సంబంధం: షీట్ రెసిస్టెన్స్ = వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ/ఫిల్మ్ మందం, అంటే రూ =ρ/t

షీట్ నిరోధకతను ఎందుకు కొలవాలి?

చలనచిత్రం యొక్క సంపూర్ణ ప్రతిఘటనను కొలవడానికి చలనచిత్రం యొక్క రేఖాగణిత కొలతలు (పొడవు, వెడల్పు, మందం) గురించి ఖచ్చితమైన జ్ఞానం అవసరం, ఇది అనేక వేరియబుల్స్‌ను కలిగి ఉంటుంది మరియు చాలా సన్నని లేదా సక్రమంగా ఆకారంలో ఉన్న చిత్రాలకు చాలా క్లిష్టంగా ఉంటుంది. షీట్ ప్రతిఘటన చిత్రం యొక్క మందంతో మాత్రమే సంబంధం కలిగి ఉంటుంది మరియు సంక్లిష్ట పరిమాణ గణనలు లేకుండా త్వరగా మరియు నేరుగా పరీక్షించబడుతుంది.

షీట్ రెసిస్టెన్స్‌ని కొలవాల్సిన ఫిల్మ్‌లు ఏవి?

సాధారణంగా, చతురస్ర నిరోధకత కోసం వాహక చలనచిత్రాలు మరియు సెమీకండక్టర్ ఫిల్మ్‌లను కొలవవలసి ఉంటుంది, అయితే ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్‌లను కొలవవలసిన అవసరం లేదు.
సెమీకండక్టర్ డోపింగ్‌లో, సిలికాన్ యొక్క షీట్ నిరోధకత కూడా కొలుస్తారు.

చదరపు నిరోధకతను ఎలా కొలవాలి?

నాలుగు-ప్రోబ్ పద్ధతి సాధారణంగా పరిశ్రమలో ఉపయోగించబడుతుంది. నాలుగు-ప్రోబ్ పద్ధతి 1E-3 నుండి 1E+9Ω/sq వరకు చతురస్ర నిరోధకతను కొలవగలదు. నాలుగు-ప్రోబ్ పద్ధతి ప్రోబ్ మరియు నమూనా మధ్య సంపర్క నిరోధకత కారణంగా కొలత లోపాలను నివారించవచ్చు.

కొలత పద్ధతులు:
1) నమూనా ఉపరితలంపై నాలుగు సరళంగా అమర్చబడిన ప్రోబ్‌లను సెట్ చేయండి.
2) రెండు బాహ్య ప్రోబ్స్ మధ్య స్థిరమైన కరెంట్‌ని వర్తింపజేయండి.
3) రెండు అంతర్గత ప్రోబ్స్ మధ్య సంభావ్య వ్యత్యాసాన్ని కొలవడం ద్వారా ప్రతిఘటనను నిర్ణయించండి

RS: షీట్ నిరోధకత
ΔV: అంతర్గత ప్రోబ్స్ మధ్య కొలవబడిన వోల్టేజ్‌లో మార్పు
నేను : బయటి ప్రోబ్స్ మధ్య కరెంట్ వర్తించబడుతుంది