సాధారణ TaC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాల తయారీ విధానం

పార్ట్/1
CVD (రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) పద్ధతి:
900-2300℃ వద్ద, TaCl ఉపయోగించి₅మరియు CnHm టాంటాలమ్ మరియు కార్బన్ మూలాలు, H₂ తగ్గించే వాతావరణం, Ar₂ క్యారియర్ గ్యాస్, రియాక్షన్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్. సిద్ధం పూత కాంపాక్ట్, ఏకరీతి మరియు అధిక స్వచ్ఛత. అయినప్పటికీ, సంక్లిష్టమైన ప్రక్రియ, ఖరీదైన వ్యయం, కష్టతరమైన గాలి ప్రవాహ నియంత్రణ మరియు తక్కువ నిక్షేపణ సామర్థ్యం వంటి కొన్ని సమస్యలు ఉన్నాయి.
పార్ట్/2
స్లర్రీ సింటరింగ్ పద్ధతి:
కార్బన్ మూలం, టాంటాలమ్ మూలం, చెదరగొట్టే పదార్థం మరియు బైండర్ కలిగిన స్లర్రీ గ్రాఫైట్‌పై పూత పూయబడింది మరియు ఎండబెట్టిన తర్వాత అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద సిన్టర్ చేయబడుతుంది. తయారుచేసిన పూత సాధారణ ధోరణి లేకుండా పెరుగుతుంది, తక్కువ ధరను కలిగి ఉంటుంది మరియు పెద్ద ఎత్తున ఉత్పత్తికి అనుకూలంగా ఉంటుంది. పెద్ద గ్రాఫైట్‌పై ఏకరీతి మరియు పూర్తి పూత సాధించడానికి, మద్దతు లోపాలను తొలగించడానికి మరియు పూత బంధ శక్తిని పెంచడానికి ఇది అన్వేషించవలసి ఉంది.
పార్ట్/3
ప్లాస్మా స్ప్రేయింగ్ విధానం:
TaC పౌడర్ అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ప్లాస్మా ఆర్క్ ద్వారా కరిగించబడుతుంది, హై-స్పీడ్ జెట్ ద్వారా అధిక ఉష్ణోగ్రత బిందువులుగా అటామైజ్ చేయబడుతుంది మరియు గ్రాఫైట్ పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై స్ప్రే చేయబడుతుంది. నాన్-వాక్యూమ్ కింద ఆక్సైడ్ పొరను ఏర్పరచడం సులభం, మరియు శక్తి వినియోగం పెద్దది.

 

మూర్తి . GaN ఎపిటాక్సియల్ గ్రోన్ MOCVD పరికరం (Veeco P75)లో ఉపయోగించిన తర్వాత పొర ట్రే. ఎడమ వైపున ఉన్నది TaCతో మరియు కుడివైపున SiCతో పూత పూయబడింది.

TaC పూతగ్రాఫైట్ భాగాలను పరిష్కరించాల్సిన అవసరం ఉంది

పార్ట్/1
బైండింగ్ ఫోర్స్:
TaC మరియు కార్బన్ పదార్థాల మధ్య ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం మరియు ఇతర భౌతిక లక్షణాలు భిన్నంగా ఉంటాయి, పూత బంధం బలం తక్కువగా ఉంటుంది, పగుళ్లు, రంధ్రాలు మరియు ఉష్ణ ఒత్తిడిని నివారించడం కష్టం, మరియు కుళ్ళిన వాస్తవ వాతావరణంలో పూత సులభంగా తీసివేయబడుతుంది మరియు పునరావృతమయ్యే మరియు శీతలీకరణ ప్రక్రియ.
పార్ట్/2
స్వచ్ఛత:
TaC పూతఅధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో మలినాలను మరియు కాలుష్యాన్ని నివారించడానికి అతి-అధిక స్వచ్ఛత అవసరం మరియు పూర్తి పూత యొక్క ఉపరితలం మరియు లోపల ఉచిత కార్బన్ మరియు అంతర్గత మలినాలను సమర్థవంతమైన కంటెంట్ ప్రమాణాలు మరియు క్యారెక్టరైజేషన్ ప్రమాణాలు అంగీకరించాలి.
పార్ట్/3
స్థిరత్వం:
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు 2300℃ కంటే ఎక్కువ రసాయన వాతావరణ నిరోధకత పూత యొక్క స్థిరత్వాన్ని పరీక్షించడానికి అత్యంత ముఖ్యమైన సూచికలు. పిన్‌హోల్స్, పగుళ్లు, తప్పిపోయిన మూలలు మరియు సింగిల్ ఓరియంటేషన్ ధాన్యం సరిహద్దులు తినివేయు వాయువులు గ్రాఫైట్‌లోకి చొచ్చుకుపోవడానికి మరియు చొచ్చుకుపోయేలా చేయడం సులభం, ఫలితంగా పూత రక్షణ వైఫల్యం ఏర్పడుతుంది.
పార్ట్/4
ఆక్సీకరణ నిరోధకత:
TaC 500℃ కంటే ఎక్కువగా ఉన్నప్పుడు Ta2O5కి ఆక్సీకరణం చెందడం ప్రారంభమవుతుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత మరియు ఆక్సిజన్ సాంద్రత పెరుగుదలతో ఆక్సీకరణ రేటు బాగా పెరుగుతుంది. ఉపరితల ఆక్సీకరణ ధాన్యం సరిహద్దులు మరియు చిన్న ధాన్యాల నుండి మొదలవుతుంది మరియు క్రమంగా స్తంభాల స్ఫటికాలు మరియు విరిగిన స్ఫటికాలను ఏర్పరుస్తుంది, ఫలితంగా పెద్ద సంఖ్యలో ఖాళీలు మరియు రంధ్రాలు ఏర్పడతాయి మరియు పూత తొలగించబడే వరకు ఆక్సిజన్ చొరబాటు తీవ్రమవుతుంది. ఫలితంగా ఆక్సైడ్ పొర పేలవమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ప్రదర్శనలో వివిధ రంగులను కలిగి ఉంటుంది.
పార్ట్/5
ఏకరూపత మరియు కరుకుదనం:
పూత ఉపరితలం యొక్క అసమాన పంపిణీ స్థానిక ఉష్ణ ఒత్తిడి ఏకాగ్రతకు దారి తీస్తుంది, పగుళ్లు మరియు స్లాలింగ్ ప్రమాదాన్ని పెంచుతుంది. అదనంగా, ఉపరితల కరుకుదనం నేరుగా పూత మరియు బాహ్య వాతావరణం మధ్య పరస్పర చర్యను ప్రభావితం చేస్తుంది మరియు చాలా ఎక్కువ కరుకుదనం సులభంగా పొర మరియు అసమాన ఉష్ణ క్షేత్రంతో ఘర్షణను పెంచుతుంది.
పార్ట్/6
ధాన్యం పరిమాణం:
ఏకరీతి ధాన్యం పరిమాణం పూత యొక్క స్థిరత్వానికి సహాయపడుతుంది. ధాన్యం పరిమాణం తక్కువగా ఉంటే, బంధం గట్టిగా ఉండదు, మరియు అది ఆక్సీకరణం చెందడం మరియు తుప్పు పట్టడం సులభం, దీని ఫలితంగా ధాన్యం అంచులో పెద్ద సంఖ్యలో పగుళ్లు మరియు రంధ్రాలు ఏర్పడతాయి, ఇది పూత యొక్క రక్షిత పనితీరును తగ్గిస్తుంది. ధాన్యం పరిమాణం చాలా పెద్దది అయినట్లయితే, అది సాపేక్షంగా కఠినమైనది, మరియు పూత ఉష్ణ ఒత్తిడికి లోనవడం సులభం.