సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ - ఎట్చ్ టెక్నాలజీ

A చెయ్యడానికి వందలాది ప్రక్రియలు అవసరంపొరసెమీకండక్టర్‌లోకి. అత్యంత ముఖ్యమైన ప్రక్రియలలో ఒకటిచెక్కడం- అంటే, ఫైన్ సర్క్యూట్ నమూనాలను చెక్కడంపొర. యొక్క విజయంచెక్కడంఈ ప్రక్రియ సెట్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ పరిధిలో వివిధ వేరియబుల్స్ నిర్వహణపై ఆధారపడి ఉంటుంది మరియు ప్రతి ఎచింగ్ పరికరాలు సరైన పరిస్థితుల్లో పనిచేయడానికి సిద్ధంగా ఉండాలి. మా ఎచింగ్ ప్రాసెస్ ఇంజనీర్లు ఈ వివరణాత్మక ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి అద్భుతమైన తయారీ సాంకేతికతను ఉపయోగిస్తారు.
SK హైనిక్స్ న్యూస్ సెంటర్ వారి పని గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి Icheon DRAM ఫ్రంట్ Etch, మిడిల్ Etch మరియు ఎండ్ Etch సాంకేతిక బృందాల సభ్యులను ఇంటర్వ్యూ చేసింది.
మొదలైనవి: ఉత్పాదకత మెరుగుదలకు ఒక ప్రయాణం
సెమీకండక్టర్ తయారీలో, ఎచింగ్ అనేది సన్నని ఫిల్మ్‌లపై చెక్కిన నమూనాలను సూచిస్తుంది. ప్రతి ప్రక్రియ దశ యొక్క తుది రూపురేఖలను రూపొందించడానికి ప్లాస్మాను ఉపయోగించి నమూనాలు స్ప్రే చేయబడతాయి. లేఅవుట్ ప్రకారం ఖచ్చితమైన నమూనాలను ఖచ్చితంగా ప్రదర్శించడం మరియు అన్ని పరిస్థితులలో ఏకరీతి ఫలితాలను నిర్వహించడం దీని ప్రధాన ఉద్దేశ్యం.
నిక్షేపణ లేదా ఫోటోలిథోగ్రఫీ ప్రక్రియలో సమస్యలు సంభవించినట్లయితే, వాటిని సెలెక్టివ్ ఎచింగ్ (Etch) సాంకేతికత ద్వారా పరిష్కరించవచ్చు. అయితే, చెక్కే ప్రక్రియలో ఏదైనా తప్పు జరిగితే, పరిస్థితిని మార్చలేము. ఎందుకంటే చెక్కిన ప్రదేశంలో అదే పదార్థాన్ని పూరించలేరు. కాబట్టి, సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, మొత్తం దిగుబడి మరియు ఉత్పత్తి నాణ్యతను నిర్ణయించడానికి చెక్కడం చాలా కీలకం.

ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఎనిమిది దశలు ఉంటాయి: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN మరియు MLM.
ముందుగా, క్రియాశీల కణ ప్రాంతాన్ని సృష్టించడానికి పొరపై ISO (ఐసోలేషన్) స్టేజ్ ఎట్చెస్ (Etch) సిలికాన్ (Si). BG (బరీడ్ గేట్) దశ వరుస చిరునామా లైన్ (వర్డ్ లైన్) 1 మరియు ఎలక్ట్రానిక్ ఛానెల్‌ని సృష్టించడానికి గేట్‌ను ఏర్పరుస్తుంది. తరువాత, BLC (బిట్ లైన్ కాంటాక్ట్) దశ సెల్ ప్రాంతంలో ISO మరియు కాలమ్ అడ్రస్ లైన్ (బిట్ లైన్) 2 మధ్య కనెక్షన్‌ను సృష్టిస్తుంది. GBL (పెరి గేట్+సెల్ బిట్ లైన్) దశ సెల్ కాలమ్ అడ్రస్ లైన్ మరియు 3వ అంచులో గేట్‌ను ఏకకాలంలో సృష్టిస్తుంది.
SNC (స్టోరేజ్ నోడ్ కాంట్రాక్ట్) దశ యాక్టివ్ ఏరియా మరియు స్టోరేజ్ నోడ్ 4 మధ్య కనెక్షన్‌ను సృష్టించడం కొనసాగుతుంది. తదనంతరం, M0 (Metal0) దశ పరిధీయ S/D (స్టోరేజ్ నోడ్) 5 మరియు కనెక్షన్ పాయింట్‌ల కనెక్షన్ పాయింట్‌లను ఏర్పరుస్తుంది. కాలమ్ అడ్రస్ లైన్ మరియు స్టోరేజ్ నోడ్ మధ్య. SN (స్టోరేజ్ నోడ్) దశ యూనిట్ సామర్థ్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది మరియు తదుపరి MLM (మల్టీ లేయర్ మెటల్) దశ బాహ్య విద్యుత్ సరఫరా మరియు అంతర్గత వైరింగ్‌ను సృష్టిస్తుంది మరియు మొత్తం ఎచింగ్ (Etch) ఇంజనీరింగ్ ప్రక్రియ పూర్తయింది.

ఎచింగ్ (Etch) సాంకేతిక నిపుణులు సెమీకండక్టర్ల నమూనాకు ప్రధానంగా బాధ్యత వహిస్తారు, DRAM విభాగం మూడు బృందాలుగా విభజించబడింది: ఫ్రంట్ Etch (ISO, BG, BLC); మిడిల్ ఎట్చ్ (GBL, SNC, M0); ముగింపు Etch (SN, MLM). ఈ బృందాలు తయారీ స్థానాలు మరియు పరికరాల స్థానాల ప్రకారం కూడా విభజించబడ్డాయి.
యూనిట్ ఉత్పత్తి ప్రక్రియలను నిర్వహించడానికి మరియు మెరుగుపరచడానికి తయారీ స్థానాలు బాధ్యత వహిస్తాయి. వేరియబుల్ నియంత్రణ మరియు ఇతర ఉత్పత్తి ఆప్టిమైజేషన్ చర్యల ద్వారా దిగుబడి మరియు ఉత్పత్తి నాణ్యతను మెరుగుపరచడంలో తయారీ స్థానాలు చాలా ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తాయి.
ఎచింగ్ ప్రక్రియలో సంభవించే సమస్యలను నివారించడానికి ఉత్పత్తి పరికరాలను నిర్వహించడానికి మరియు బలోపేతం చేయడానికి పరికరాల స్థానాలు బాధ్యత వహిస్తాయి. పరికరాల యొక్క సరైన పనితీరును నిర్ధారించడం పరికరాల స్థానాల యొక్క ప్రధాన బాధ్యత.
బాధ్యతలు స్పష్టంగా ఉన్నప్పటికీ, అన్ని బృందాలు ఉమ్మడి లక్ష్యం కోసం పని చేస్తాయి - అంటే, ఉత్పాదకతను మెరుగుపరచడానికి ఉత్పత్తి ప్రక్రియలు మరియు సంబంధిత పరికరాలను నిర్వహించడం మరియు మెరుగుపరచడం. దీని కోసం, ప్రతి బృందం వారి స్వంత విజయాలు మరియు అభివృద్ధి కోసం ప్రాంతాలను చురుకుగా పంచుకుంటుంది మరియు వ్యాపార పనితీరును మెరుగుపరచడానికి సహకరిస్తుంది.
సూక్ష్మీకరణ సాంకేతికత యొక్క సవాళ్లను ఎలా ఎదుర్కోవాలి

SK Hynix జూలై 2021లో 10nm (1a) తరగతి ప్రక్రియ కోసం 8Gb LPDDR4 DRAM ఉత్పత్తుల భారీ ఉత్పత్తిని ప్రారంభించింది.

సెమీకండక్టర్ మెమరీ సర్క్యూట్ నమూనాలు 10nm యుగంలోకి ప్రవేశించాయి మరియు మెరుగుదలల తర్వాత, ఒక DRAM దాదాపు 10,000 సెల్‌లను కలిగి ఉంటుంది. అందువల్ల, ఎచింగ్ ప్రక్రియలో కూడా, ప్రాసెస్ మార్జిన్ సరిపోదు.
ఏర్పడిన రంధ్రం (హోల్) 6 చాలా చిన్నదిగా ఉంటే, అది "తెరవని" మరియు చిప్ యొక్క దిగువ భాగాన్ని నిరోధించవచ్చు. అదనంగా, ఏర్పడిన రంధ్రం చాలా పెద్దది అయినట్లయితే, "వంతెన" సంభవించవచ్చు. రెండు రంధ్రాల మధ్య అంతరం సరిపోనప్పుడు, "వంతెన" ఏర్పడుతుంది, దీని ఫలితంగా తదుపరి దశల్లో పరస్పర సంశ్లేషణ సమస్యలు ఏర్పడతాయి. సెమీకండక్టర్స్ ఎక్కువగా శుద్ధి చేయబడినందున, రంధ్ర పరిమాణం విలువల పరిధి క్రమంగా తగ్గిపోతుంది మరియు ఈ ప్రమాదాలు క్రమంగా తొలగించబడతాయి.
పై సమస్యలను పరిష్కరించడానికి, ఎచింగ్ టెక్నాలజీ నిపుణులు ప్రాసెస్ రెసిపీ మరియు APC7 అల్గారిథమ్‌ను సవరించడం మరియు ADCC8 మరియు LSR9 వంటి కొత్త ఎచింగ్ టెక్నాలజీలను పరిచయం చేయడంతో సహా ప్రక్రియను మెరుగుపరుస్తూనే ఉన్నారు.
కస్టమర్ అవసరాలు మరింత వైవిధ్యంగా మారడంతో, మరొక సవాలు ఉద్భవించింది - బహుళ-ఉత్పత్తి ఉత్పత్తి ధోరణి. అటువంటి కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చడానికి, ప్రతి ఉత్పత్తికి అనుకూలమైన ప్రక్రియ పరిస్థితులను విడిగా సెట్ చేయాలి. ఇంజనీర్లకు ఇది చాలా ప్రత్యేకమైన సవాలు ఎందుకంటే వారు మాస్ ప్రొడక్షన్ టెక్నాలజీని ఏర్పాటు చేసిన పరిస్థితులు మరియు విభిన్న పరిస్థితుల అవసరాలను తీర్చాలి.
ఈ క్రమంలో, Etch ఇంజనీర్లు కోర్ ఉత్పత్తుల (కోర్ ప్రొడక్ట్స్) ఆధారంగా వివిధ డెరివేటివ్‌లను నిర్వహించడానికి “APC ఆఫ్‌సెట్”10 సాంకేతికతను పరిచయం చేశారు మరియు వివిధ ఉత్పత్తులను సమగ్రంగా నిర్వహించడానికి “T-ఇండెక్స్ సిస్టమ్”ని స్థాపించారు మరియు ఉపయోగించారు. ఈ ప్రయత్నాల ద్వారా, బహుళ-ఉత్పత్తి ఉత్పత్తి అవసరాలను తీర్చడానికి వ్యవస్థ నిరంతరం మెరుగుపరచబడింది.