క్రిస్టల్ గ్రోత్‌లో సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్‌ల అద్భుతమైన పనితీరు

క్రిస్టల్ గ్రోత్ ప్రక్రియలు సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ యొక్క గుండె వద్ద ఉన్నాయి, ఇక్కడ అధిక-నాణ్యత పొరల ఉత్పత్తి కీలకం. ఈ ప్రక్రియలలో అంతర్భాగంసిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పొర పడవ. SiC పొర పడవలు వాటి అసాధారణ పనితీరు మరియు విశ్వసనీయత కారణంగా పరిశ్రమలో గణనీయమైన గుర్తింపు పొందాయి. ఈ వ్యాసంలో, మేము దాని యొక్క విశేషమైన లక్షణాలను విశ్లేషిస్తాముSiC పొర పడవలుమరియు సెమీకండక్టర్ తయారీలో క్రిస్టల్ వృద్ధిని సులభతరం చేయడంలో వారి పాత్ర.

SiC పొర పడవలుక్రిస్టల్ పెరుగుదల యొక్క వివిధ దశలలో సెమీకండక్టర్ పొరలను పట్టుకుని రవాణా చేయడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి. ఒక పదార్థంగా, సిలికాన్ కార్బైడ్ కావాల్సిన లక్షణాల యొక్క ప్రత్యేకమైన కలయికను అందిస్తుంది, ఇది పొర పడవలకు ఆదర్శవంతమైన ఎంపికగా చేస్తుంది. మొదటి మరియు అన్నిటికంటే దాని అత్యుత్తమ యాంత్రిక బలం మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం. SiC అద్భుతమైన కాఠిన్యం మరియు దృఢత్వాన్ని కలిగి ఉంది, ఇది క్రిస్టల్ పెరుగుదల ప్రక్రియల సమయంలో ఎదురయ్యే తీవ్రమైన పరిస్థితులను తట్టుకునేలా చేస్తుంది.

ఒక ముఖ్య ప్రయోజనంSiC పొర పడవలువారి అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత. వేడి వెదజల్లడం అనేది క్రిస్టల్ పెరుగుదలలో కీలకమైన అంశం, ఎందుకంటే ఇది ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను ప్రభావితం చేస్తుంది మరియు పొరలపై ఉష్ణ ఒత్తిడిని నిరోధిస్తుంది. SiC యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీని సులభతరం చేస్తుంది, పొరల అంతటా స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది. ఈ లక్షణం ముఖ్యంగా ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ వంటి ప్రక్రియలలో ప్రయోజనకరంగా ఉంటుంది, ఇక్కడ ఏకరీతి ఫిల్మ్ డిపాజిషన్‌ను సాధించడానికి ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ అవసరం.

ఇంకా,SiC పొర పడవలుఅద్భుతమైన రసాయన జడత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తాయి. సెమీకండక్టర్ తయారీలో సాధారణంగా ఉపయోగించే అనేక రకాల తినివేయు రసాయనాలు మరియు వాయువులకు ఇవి నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. ఈ రసాయన స్థిరత్వం నిర్ధారిస్తుందిSiC పొర పడవలుకఠినమైన ప్రక్రియ వాతావరణాలకు ఎక్కువ కాలం బహిర్గతం చేయడం ద్వారా వారి సమగ్రతను మరియు పనితీరును కొనసాగించండి. రసాయన దాడికి నిరోధకత కాలుష్యం మరియు పదార్థ క్షీణతను నిరోధిస్తుంది, పెరుగుతున్న పొరల నాణ్యతను కాపాడుతుంది.

SiC పొర పడవల యొక్క డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ మరొక ముఖ్యమైన అంశం. అవి అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద కూడా వాటి ఆకృతిని మరియు ఆకృతిని నిర్వహించడానికి రూపొందించబడ్డాయి, క్రిస్టల్ పెరుగుదల సమయంలో పొరల యొక్క ఖచ్చితమైన స్థానాలను నిర్ధారిస్తుంది. డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ బోట్ యొక్క ఏదైనా వైకల్యాన్ని లేదా వార్పింగ్‌ను తగ్గిస్తుంది, ఇది పొరల అంతటా తప్పుగా అమర్చడం లేదా ఏకరీతిగా పెరగడానికి దారితీయవచ్చు. ఫలితంగా వచ్చే సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌లో కావలసిన స్ఫటికాకార ధోరణి మరియు ఏకరూపతను సాధించడానికి ఈ ఖచ్చితమైన స్థానం చాలా కీలకం.

SiC పొర పడవలు కూడా అద్భుతమైన విద్యుత్ లక్షణాలను అందిస్తాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ అనేది సెమీకండక్టర్ పదార్థం, దాని విస్తృత బ్యాండ్‌గ్యాప్ మరియు అధిక బ్రేక్‌డౌన్ వోల్టేజ్ ద్వారా వర్గీకరించబడుతుంది. SiC యొక్క స్వాభావిక విద్యుత్ లక్షణాలు క్రిస్టల్ పెరుగుదల ప్రక్రియల సమయంలో కనిష్ట విద్యుత్ లీకేజ్ మరియు జోక్యాన్ని నిర్ధారిస్తాయి. అధిక-శక్తి పరికరాలను పెంచుతున్నప్పుడు లేదా సున్నితమైన ఎలక్ట్రానిక్ నిర్మాణాలతో పని చేస్తున్నప్పుడు ఇది చాలా ముఖ్యమైనది, ఎందుకంటే ఇది ఉత్పత్తి చేయబడిన సెమీకండక్టర్ పదార్థాల సమగ్రతను కాపాడుకోవడంలో సహాయపడుతుంది.

అదనంగా, SiC పొర పడవలు వాటి దీర్ఘాయువు మరియు పునర్వినియోగానికి ప్రసిద్ధి చెందాయి. గణనీయమైన క్షీణత లేకుండా బహుళ స్ఫటిక పెరుగుదల చక్రాలను భరించే సామర్థ్యంతో వారు సుదీర్ఘ కార్యాచరణ జీవితకాలం కలిగి ఉంటారు. ఈ మన్నిక ఖర్చు-ప్రభావానికి అనువదిస్తుంది మరియు తరచుగా భర్తీ చేయవలసిన అవసరాన్ని తగ్గిస్తుంది. SiC వేఫర్ బోట్ల పునర్వినియోగం స్థిరమైన తయారీ పద్ధతులకు దోహదపడటమే కాకుండా క్రిస్టల్ వృద్ధి ప్రక్రియలలో స్థిరమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది.

ముగింపులో, SiC పొర పడవలు సెమీకండక్టర్ తయారీకి క్రిస్టల్ పెరుగుదలలో అంతర్భాగంగా మారాయి. వాటి అసాధారణమైన యాంత్రిక బలం, అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం, ఉష్ణ వాహకత, రసాయన జడత్వం, డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం మరియు విద్యుత్ లక్షణాలు క్రిస్టల్ వృద్ధి ప్రక్రియలను సులభతరం చేయడంలో వాటిని అత్యంత కావాల్సినవిగా చేస్తాయి. SiC పొర పడవలు ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారిస్తాయి, కలుషితాన్ని నివారిస్తాయి మరియు పొరల యొక్క ఖచ్చితమైన స్థానాలను ప్రారంభిస్తాయి, చివరికి అధిక-నాణ్యత సెమీకండక్టర్ పదార్థాల ఉత్పత్తికి దారితీస్తాయి. అధునాతన సెమీకండక్టర్ పరికరాలకు డిమాండ్ పెరుగుతూనే ఉన్నందున, సరైన క్రిస్టల్ వృద్ధిని సాధించడంలో SiC పొర పడవల యొక్క ప్రాముఖ్యతను అతిగా చెప్పలేము.

సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవ (4)


పోస్ట్ సమయం: ఏప్రిల్-08-2024