MOCVD ససెప్టర్ అంటే ఏమిటి?

దిMOCVDసింగిల్ ఫేజ్ InGaN ఎపిలేయర్‌లు, III-N మెటీరియల్‌లు మరియు బహుళ క్వాంటం బావి నిర్మాణాలతో కూడిన సెమీకండక్టర్ ఫిల్మ్‌లు వంటి అధిక నాణ్యత గల సింగిల్ స్ఫటికాకార సన్నని ఫిల్మ్‌లను పెంచడానికి పరిశ్రమలో ప్రస్తుతం ఉపయోగించే అత్యంత స్థిరమైన ప్రక్రియల్లో ఈ పద్ధతి ఒకటి. సెమీకండక్టర్ మరియు ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీ.

దిSiC కోటింగ్ MOCVD ససెప్టర్సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC)తో పూత పూయబడిన ప్రత్యేక పొర హోల్డర్ఎపిటాక్సియల్ మెటల్ ఆర్గానిక్ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) ప్రక్రియలో పెరుగుదల.

SiC పూత అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంది, ఇది డిమాండ్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్‌లలో ఉపయోగించే MOCVD ససెప్టర్‌లకు ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక.

MOCVD ప్రక్రియలో కీలకమైన భాగం ససెప్టర్, ఇది ఉత్పత్తి చేయబడిన సన్నని చలనచిత్రాల ఏకరూపత మరియు నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి కీలకమైన అంశం.

ససెప్టర్ అంటే ఏమిటి? ససెప్టర్ అనేది MOCVD ప్రక్రియలో సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిట్ చేయబడిన సబ్‌స్ట్రేట్‌కు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు వేడి చేయడానికి ఉపయోగించే ఒక ప్రత్యేక భాగం. ఇది విద్యుదయస్కాంత శక్తిని గ్రహించడం, వేడిగా మార్చడం మరియు ఉపరితలంపై వేడిని సమానంగా పంపిణీ చేయడం వంటి బహుళ విధులను కలిగి ఉంటుంది. ఖచ్చితమైన మందం మరియు కూర్పుతో ఏకరీతి సన్నని చలనచిత్రాల పెరుగుదలకు ఈ ఏకరీతి తాపన అవసరం.

ససెప్టర్ల రకాలు:
1. గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు: గ్రాఫైట్ ససెప్టర్‌లు తరచుగా రక్షిత పొరతో పూత ఉంటాయిసిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC), ఇది అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు స్థిరత్వానికి ప్రసిద్ధి చెందింది. దిSiC పూతఅధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద తుప్పు మరియు క్షీణతను నిరోధించే గట్టి, రక్షిత ఉపరితలాన్ని అందిస్తుంది.

2. సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ససెప్టర్లు: ఈ ససెప్టర్లు పూర్తిగా SiCతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. SiC ససెప్టర్లు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలు మరియు తినివేయు వాతావరణాలకు ప్రత్యేకంగా సరిపోతాయి.

MOCVDలో ససెప్టర్లు ఎలా పని చేస్తాయి:

MOCVD ప్రక్రియలో, పూర్వగాములు రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోకి ప్రవేశపెడతారు, అక్కడ అవి కుళ్ళిపోతాయి మరియు ఉపరితలంపై సన్నని చలనచిత్రాన్ని ఏర్పరుస్తాయి. సబ్‌స్ట్రేట్ సమానంగా వేడి చేయబడిందని నిర్ధారించడం ద్వారా ససెప్టర్ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది, ఇది మొత్తం ఉపరితల ఉపరితలం అంతటా స్థిరమైన ఫిల్మ్ లక్షణాలను సాధించడంలో కీలకం. ఉష్ణోగ్రత పరిధి మరియు రసాయన అనుకూలత వంటి నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి ససెప్టర్ యొక్క పదార్థం మరియు రూపకల్పన జాగ్రత్తగా ఎంపిక చేయబడుతుంది.

అధిక-నాణ్యత ససెప్టర్లను ఉపయోగించడం వల్ల కలిగే ప్రయోజనాలు:
• మెరుగైన ఫిల్మ్ నాణ్యత: ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని అందించడం ద్వారా, ససెప్టర్ స్థిరమైన మందం మరియు కూర్పుతో ఫిల్మ్‌లను సాధించడంలో సహాయపడుతుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరాల పనితీరుకు కీలకం.
• మెరుగైన ప్రక్రియ సామర్థ్యం: అధిక-నాణ్యత ససెప్టర్‌లు లోపాల సంభావ్యతను తగ్గించడం మరియు ఉపయోగించగల ఫిల్మ్‌ల దిగుబడిని పెంచడం ద్వారా MOCVD ప్రక్రియ యొక్క మొత్తం సామర్థ్యాన్ని పెంచుతాయి.
• జీవితకాలం మరియు విశ్వసనీయత: SiC వంటి మన్నికైన పదార్థాలతో తయారు చేయబడిన ససెప్టర్లు దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తాయి మరియు నిర్వహణ ఖర్చులను తగ్గిస్తాయి.

MOCVD ప్రక్రియలో ససెప్టర్ అంతర్భాగంగా ఉంటుంది మరియు సన్నని ఫిల్మ్ నిక్షేపణ యొక్క నాణ్యత మరియు సామర్థ్యాన్ని నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది. అందుబాటులో ఉన్న పరిమాణాలు, MOCVD ససెప్టర్లు మరియు ధరల గురించి మరింత సమాచారం కోసం, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి వెనుకాడకండి. మా ఇంజనీర్లు మీకు తగిన మెటీరియల్‌పై సలహా ఇవ్వడం మరియు మీ అన్ని ప్రశ్నలకు సమాధానం ఇవ్వడం ఆనందంగా ఉంటుంది.

ఫోన్: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com