పొర క్యారియర్ పరిచయం
ఉత్పత్తి వర్గం
▶PECVD & TALOX ప్రక్రియ కోసం వేఫర్ క్యారియర్ సిస్టమ్
• PECVD & TALOX గ్రాఫైట్ బోట్ (M4~M12)
• నిలువు SM-బోట్ (M4, M6)
• ఇంప్లాంట్ & షవర్ గ్రాఫైట్ పార్ట్ (M4~M6)
• C/C ట్రే & సిరామిక్ కోటింగ్
• మెటల్ RIE-ట్రే & సిరామిక్ పూత
• వాక్యూమ్ సీలింగ్ : O-రింగ్ & SQ-రింగ్
▶టెక్స్చరింగ్ & వెట్ ఎచింగ్ బదిలీ ప్రక్రియ
• LSC H-క్యారియర్ లేదా క్యాసెట్ (M4~M12)
• LSC V-క్యారియర్ లేదా క్యాసెట్ (M4~M12)
• ASC క్యారియర్ లేదా క్యాసెట్ (M4, M6)
• W/F క్యారియర్ & స్టోరేజ్ బాక్స్ (M4~M12)
• రవాణా చక్రం (రోలర్) సిరీస్
▶సోలార్ సెల్ క్యారియర్ & మెటల్ క్యారియర్
• TRC క్యారియర్ లేదా క్యాసెట్ (M4~M12)
• పత్రిక (BELTతో)
గ్రాఫైట్ బోట్ (H-రకం)
19P6-216CT (WF M4~M12)
గ్రాఫైట్ బోట్ (H-రకం)
21P6-240CT WF M4~M12)
గ్రాఫైట్ బోట్ (H-రకం)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
గ్రాఫైట్ బోట్ (H-రకం)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
గ్రాఫైట్ బోట్ (H-రకం)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF క్యారియర్ & స్టోరేజ్ బాక్స్ (~M12)
C/C ట్రే లేదా CARRIER( M4~M10)
C/C ట్రే లేదా CARRIER( M4~M10)
వర్టికల్ బోట్ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC క్యారియర్ (~M6)
TRC క్యారియర్(~M12)
TRC క్యారియర్(~M12)
గ్రాఫైట్-బోట్(M12)
PECVD ప్రక్రియ కోసం వేఫర్ క్యారియర్ సిస్టమ్
▶ గ్రాఫైట్ బోట్ (CT-రూపకల్పన) M10/M12 ప్రక్రియ
• ప్రత్యేక డిజైన్ కాన్సెప్ట్
▶ గ్రాఫైట్ బోట్ (CT-రూపకల్పన) M4/M6 ప్రక్రియ
▶ బోట్ అనుబంధ భాగాలు
▶ వర్టికల్ బోట్-161.7mm WAFER
▶ వర్టికల్ బోట్-166mm WAFER
▶ వర్టికల్ బోట్-161.7mm, 166mm WAFER
సోలార్ సెల్ క్యారియర్ & మెటల్ TRC క్యారియర్
రకం: ఆటోమేషన్
పొర పరిమాణం : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
వినియోగం: క్యారీ (క్యాసెట్)
కెపాసిటీ: 100 షీట్
పిచ్: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
డైమెన్షన్: సుమారు 559×220×220MM
సుమారు 712×260×260మి.మీ
అడ్వాంటేజ్: వాతావరణం
మెటీరియల్: ఫ్లేమ్, సైడ్ బార్-అల్యూమినియం (యానోడైజింగ్)
సైడ్ ప్లేట్-పోమ్ (యాంటిస్టాటిక్)
దిగువ బార్ కవర్-EPDM/PU/VITON (ASE)