ఐసోస్టాటిక్ PECVD గ్రాఫైట్ బోట్

సంక్షిప్త వివరణ:

ఐసోస్టాటిక్ PECVD గ్రాఫైట్ బోట్ పాలీసిలికాన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్, ఆక్సైడ్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్, నైట్రైడ్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ మొదలైన సెమీకండక్టర్ తయారీకి సంబంధించిన వివిధ లింక్‌లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. దీని అద్భుతమైన పనితీరు PECVD ప్రక్రియలో దీనిని ఆదర్శ పొర క్యారియర్‌గా చేస్తుంది.

మాకు ఇమెయిల్ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తి ట్యాగ్‌లు

SEMICERA ఐసోస్టాటిక్ PECVD గ్రాఫైట్ బోట్ అనేది PECVD (ప్లాస్మా మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) ప్రక్రియలో పొర మద్దతు కోసం రూపొందించబడిన అధిక-స్వచ్ఛత, అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ ఉత్పత్తి. గ్రాఫైట్ బోట్ అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ మరియు మంచి థర్మల్ కండక్టివిటీని కలిగి ఉండేలా SEMICERA అధునాతన ఐసోస్టాటిక్ నొక్కడం సాంకేతికతను ఉపయోగిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఒక అనివార్యమైన వినియోగం.

SEMICERA ఐసోస్టాటిక్ PECVD గ్రాఫైట్ బోట్ క్రింది ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది:

▪ అధిక స్వచ్ఛత: గ్రాఫైట్ పదార్థం అధిక స్వచ్ఛత మరియు పొర ఉపరితలం యొక్క కలుషితాన్ని నివారించడానికి తక్కువ మలినాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

▪ అధిక సాంద్రత: అధిక సాంద్రత, అధిక యాంత్రిక బలం, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక వాక్యూమ్ వాతావరణాన్ని తట్టుకోగలదు.

▪ మంచి డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం: ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద చిన్న డైమెన్షనల్ మార్పు.

▪ అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత: పొర వేడెక్కడాన్ని నిరోధించడానికి వేడిని సమర్థవంతంగా బదిలీ చేస్తుంది.

▪ బలమైన తుప్పు నిరోధకత: వివిధ తినివేయు వాయువులు మరియు ప్లాస్మా ద్వారా కోతను నిరోధించగల సామర్థ్యం.

పనితీరు పరామితి	సెమిసెరా	SGL R6510	పనితీరు పరామితి
బల్క్ డెన్సిటీ (గ్రా/సెం3)	1.91	1.83	1.85
బెండింగ్ బలం (MPa)	63	60	49
సంపీడన బలం (MPa)	135	130	103
తీర కాఠిన్యం (HS)	70	64	60
ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (10-6/K)	85	105	130
ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
రెసిస్టివిటీ (μΩm)	11-13	13	10

మమ్మల్ని ఎంచుకోవడం వల్ల కలిగే ప్రయోజనాలు:
▪ మెటీరియల్ ఎంపిక: ఉత్పత్తి నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ పదార్థాలు ఉపయోగించబడతాయి.
▪ ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీ: ఉత్పత్తి సాంద్రత మరియు ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి ఐసోస్టాటిక్ నొక్కడం ఉపయోగించబడుతుంది.
▪ పరిమాణ అనుకూలీకరణ: వివిధ పరిమాణాలు మరియు ఆకారాల గ్రాఫైట్ పడవలు కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించబడతాయి.
▪ ఉపరితల చికిత్స: వివిధ ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చడానికి పూత సిలికాన్ కార్బైడ్, బోరాన్ నైట్రైడ్ మొదలైన అనేక రకాల ఉపరితల చికిత్స పద్ధతులు అందించబడ్డాయి.