సెమిసెరాఅందించడానికి సంతోషిస్తున్నారుPFA క్యాసెట్, రసాయన ప్రతిఘటన మరియు మన్నిక అత్యంత ముఖ్యమైన వాతావరణంలో పొర నిర్వహణ కోసం ప్రీమియం ఎంపిక. అధిక స్వచ్ఛత Perfluoroalkoxy (PFA) మెటీరియల్ నుండి రూపొందించబడింది, ఈ క్యాసెట్ సెమీకండక్టర్ తయారీలో అత్యంత డిమాండ్ ఉన్న పరిస్థితులను తట్టుకునేలా రూపొందించబడింది, మీ పొరల భద్రత మరియు సమగ్రతను నిర్ధారిస్తుంది.
సరిపోలని రసాయన నిరోధకతదిPFA క్యాసెట్రసాయనాల విస్తృత శ్రేణికి అత్యుత్తమ ప్రతిఘటనను అందించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది ఉగ్రమైన ఆమ్లాలు, ద్రావకాలు మరియు ఇతర కఠినమైన రసాయనాలను కలిగి ఉన్న ప్రక్రియలకు సరైన ఎంపిక. ఈ బలమైన రసాయన ప్రతిఘటన చాలా తినివేయు వాతావరణంలో కూడా క్యాసెట్ చెక్కుచెదరకుండా మరియు క్రియాత్మకంగా ఉండేలా చేస్తుంది, తద్వారా దాని జీవితకాలం పొడిగిస్తుంది మరియు తరచుగా భర్తీ చేయవలసిన అవసరాన్ని తగ్గిస్తుంది.
అధిక స్వచ్ఛత నిర్మాణంసెమిసెరా యొక్కPFA క్యాసెట్అల్ట్రా-ప్యూర్ PFA మెటీరియల్ నుండి తయారు చేయబడింది, ఇది పొర ప్రాసెసింగ్ సమయంలో కాలుష్యాన్ని నివారించడంలో కీలకం. ఈ అధిక-స్వచ్ఛత నిర్మాణం కణ ఉత్పత్తి మరియు రసాయన లీచింగ్ ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది, మీ పొరలు వాటి నాణ్యతను రాజీ చేసే మలినాలనుండి రక్షించబడుతున్నాయని నిర్ధారిస్తుంది.
మెరుగైన మన్నిక మరియు పనితీరుమన్నిక కోసం రూపొందించబడింది, దిPFA క్యాసెట్తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన ప్రాసెసింగ్ పరిస్థితులలో దాని నిర్మాణ సమగ్రతను నిర్వహిస్తుంది. అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు గురైనా లేదా పదేపదే నిర్వహణకు గురైనా, ఈ క్యాసెట్ దాని ఆకృతిని మరియు పనితీరును నిలుపుకుంటుంది, డిమాండ్ తయారీ వాతావరణాలలో దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను అందిస్తుంది.
సురక్షిత నిర్వహణ కోసం ప్రెసిషన్ ఇంజనీరింగ్దిసెమిసెరా PFA క్యాసెట్సురక్షితమైన మరియు స్థిరమైన పొర నిర్వహణను నిర్ధారించే ఖచ్చితమైన ఇంజనీరింగ్ని కలిగి ఉంటుంది. ప్రతి స్లాట్ పొరలను సురక్షితంగా ఉంచడానికి జాగ్రత్తగా రూపొందించబడింది, ఏదైనా కదలికను నిరోధించడం లేదా నష్టం కలిగించే బదిలీని నిరోధించడం. ఈ ఖచ్చితమైన ఇంజనీరింగ్ స్థిరమైన మరియు ఖచ్చితమైన పొర ప్లేస్మెంట్కు మద్దతు ఇస్తుంది, మొత్తం ప్రక్రియ సామర్థ్యానికి దోహదపడుతుంది.
ప్రక్రియల అంతటా బహుముఖ అప్లికేషన్దాని ఉన్నతమైన పదార్థ లక్షణాలకు ధన్యవాదాలు, దిPFA క్యాసెట్సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ యొక్క వివిధ దశల్లో ఉపయోగించడానికి తగినంత బహుముఖంగా ఉంటుంది. ఇది ముఖ్యంగా వెట్ ఎచింగ్, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు కఠినమైన రసాయన వాతావరణాలను కలిగి ఉన్న ఇతర ప్రక్రియలకు బాగా సరిపోతుంది. దాని అనుకూలత ప్రక్రియ సమగ్రతను మరియు పొర నాణ్యతను నిర్వహించడంలో ఇది ఒక ముఖ్యమైన సాధనంగా చేస్తుంది.
నాణ్యత మరియు ఆవిష్కరణకు నిబద్ధతసెమిసెరాలో, మేము అత్యధిక పరిశ్రమ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉత్పత్తులను అందించడానికి కట్టుబడి ఉన్నాము. దిPFA క్యాసెట్ఈ నిబద్ధతను ఉదహరిస్తుంది, మీ తయారీ ప్రక్రియల్లో సజావుగా కలిసిపోయే నమ్మకమైన పరిష్కారాన్ని అందిస్తుంది. సెమిసెరా నుండి మీరు ఆశించే శ్రేష్ఠతను అందజేస్తూ, మా కఠినమైన పనితీరు ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉండేలా ప్రతి క్యాసెట్ కఠినమైన నాణ్యత నియంత్రణకు లోనవుతుంది.
వస్తువులు | ఉత్పత్తి | పరిశోధన | డమ్మీ |
క్రిస్టల్ పారామితులు | |||
పాలీటైప్ | 4H | ||
ఉపరితల ధోరణి లోపం | <11-20 >4±0.15° | ||
ఎలక్ట్రికల్ పారామితులు | |||
డోపాంట్ | n-రకం నైట్రోజన్ | ||
రెసిస్టివిటీ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
మెకానికల్ పారామితులు | |||
వ్యాసం | 150.0 ± 0.2మి.మీ | ||
మందం | 350 ± 25 μm | ||
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | [1-100]±5° | ||
ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 47.5 ± 1.5 మిమీ | ||
సెకండరీ ఫ్లాట్ | ఏదీ లేదు | ||
టిటివి | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
విల్లు | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
వార్ప్ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
ముందు (Si-ముఖం) కరుకుదనం (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
నిర్మాణం | |||
మైక్రోపైప్ సాంద్రత | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
మెటల్ మలినాలను | ≤5E10అణువులు/సెం2 | NA | |
BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
ముందు నాణ్యత | |||
ముందు | Si | ||
ఉపరితల ముగింపు | Si-ఫేస్ CMP | ||
పార్టికల్స్ | ≤60ea/వేఫర్ (పరిమాణం≥0.3μm) | NA | |
గీతలు | ≤5ea/mm. సంచిత పొడవు ≤వ్యాసం | సంచిత పొడవు≤2*వ్యాసం | NA |
నారింజ తొక్క/గుంటలు/మచ్చలు/పొరలు/ పగుళ్లు/కాలుష్యం | ఏదీ లేదు | NA | |
ఎడ్జ్ చిప్స్/ఇండెంట్లు/ఫ్రాక్చర్/హెక్స్ ప్లేట్లు | ఏదీ లేదు | ||
పాలిటైప్ ప్రాంతాలు | ఏదీ లేదు | సంచిత ప్రాంతం≤20% | సంచిత ప్రాంతం≤30% |
ముందు లేజర్ మార్కింగ్ | ఏదీ లేదు | ||
వెనుక నాణ్యత | |||
తిరిగి ముగింపు | సి-ఫేస్ CMP | ||
గీతలు | ≤5ea/mm, క్యుములేటివ్ పొడవు≤2*వ్యాసం | NA | |
వెనుక లోపాలు (ఎడ్జ్ చిప్స్/ఇండెంట్లు) | ఏదీ లేదు | ||
వెనుక కరుకుదనం | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
వెనుకకు లేజర్ మార్కింగ్ | 1 మిమీ (ఎగువ అంచు నుండి) | ||
అంచు | |||
అంచు | చాంఫెర్ | ||
ప్యాకేజింగ్ | |||
ప్యాకేజింగ్ | వాక్యూమ్ ప్యాకేజింగ్తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది బహుళ-వేఫర్ క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ | ||
*గమనికలు: "NA" అంటే ఏ అభ్యర్థన లేని అంశాలు పేర్కొనబడని అంశాలు SEMI-STDని సూచించవచ్చు. |