సెమిసెరాపరిచయం చేస్తుందిసెమీకండక్టర్ క్యాసెట్, సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ అంతటా పొరల సురక్షితమైన మరియు సమర్థవంతమైన నిర్వహణకు అవసరమైన సాధనం. అధిక ఖచ్చితత్వంతో రూపొందించబడిన ఈ క్యాసెట్ మీ పొరలు సురక్షితంగా నిల్వ చేయబడి రవాణా చేయబడి, ప్రతి దశలో వాటి సమగ్రతను కాపాడుతుంది.
సుపీరియర్ రక్షణ మరియు మన్నికదిసెమీకండక్టర్ క్యాసెట్సెమిసెరా నుండి మీ పొరలకు గరిష్ట రక్షణను అందించడానికి నిర్మించబడింది. దృఢమైన, కాలుష్య-నిరోధక పదార్థాల నుండి నిర్మించబడింది, ఇది మీ పొరలను సంభావ్య నష్టం మరియు కాలుష్యం నుండి కాపాడుతుంది, ఇది క్లీన్‌రూమ్ పరిసరాలకు ఆదర్శవంతమైన ఎంపికగా చేస్తుంది. క్యాసెట్ యొక్క డిజైన్ నలుసు ఉత్పత్తిని తగ్గిస్తుంది మరియు హ్యాండ్లింగ్ మరియు రవాణా సమయంలో పొరలు తాకబడకుండా మరియు సురక్షితంగా ఉండేలా చేస్తుంది.
ఆప్టిమల్ పనితీరు కోసం మెరుగైన డిజైన్సెమిసెరా యొక్కసెమీకండక్టర్ క్యాసెట్ఖచ్చితమైన పొర అమరికను అందించే ఖచ్చితమైన ఇంజనీరింగ్ డిజైన్‌ను కలిగి ఉంది, తప్పుగా అమర్చడం మరియు యాంత్రిక నష్టం ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది. క్యాసెట్ యొక్క స్లాట్‌లు ప్రతి పొరను సురక్షితంగా ఉంచడానికి ఖచ్చితమైన ఖాళీని కలిగి ఉంటాయి, ఇది గీతలు లేదా ఇతర లోపాలను కలిగించే ఏదైనా కదలికను నివారిస్తుంది.
బహుముఖ ప్రజ్ఞ మరియు అనుకూలతదిసెమీకండక్టర్ క్యాసెట్బహుముఖ మరియు వివిధ పొర పరిమాణాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క వివిధ దశలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. మీరు స్టాండర్డ్ లేదా కస్టమ్ పొర కొలతలతో పని చేస్తున్నా, ఈ క్యాసెట్ మీ అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది, మీ తయారీ ప్రక్రియల్లో సౌలభ్యాన్ని అందిస్తుంది.
స్ట్రీమ్‌లైన్డ్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు ఎఫిషియెన్సీవినియోగదారుని దృష్టిలో ఉంచుకుని రూపొందించబడిందిసెమిసెరా సెమీకండక్టర్ క్యాసెట్తేలికగా మరియు సులభంగా నిర్వహించడానికి, త్వరగా మరియు సమర్థవంతంగా లోడ్ మరియు అన్‌లోడ్ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది. ఈ ఎర్గోనామిక్ డిజైన్ సమయాన్ని ఆదా చేయడమే కాకుండా మానవ తప్పిదాల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది, మీ సదుపాయంలో సజావుగా కార్యకలాపాలు సాగేలా చేస్తుంది.
పరిశ్రమ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగాసెమిసెరా నిర్ధారిస్తుందిసెమీకండక్టర్ క్యాసెట్నాణ్యత మరియు విశ్వసనీయత కోసం అత్యధిక పరిశ్రమ ప్రమాణాలను కలుస్తుంది. సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క డిమాండ్ పరిస్థితులలో స్థిరంగా పని చేస్తుందని హామీ ఇవ్వడానికి ప్రతి క్యాసెట్ కఠినమైన పరీక్షలకు లోనవుతుంది. నాణ్యత పట్ల ఈ అంకితభావం మీ పొరలు ఎల్లప్పుడూ రక్షించబడతాయని నిర్ధారిస్తుంది, పరిశ్రమలో అవసరమైన ఉన్నత ప్రమాణాలను నిర్వహిస్తుంది.
| వస్తువులు | ఉత్పత్తి | పరిశోధన | డమ్మీ |
| క్రిస్టల్ పారామితులు | |||
| పాలీటైప్ | 4H | ||
| ఉపరితల ధోరణి లోపం | <11-20 >4±0.15° | ||
| ఎలక్ట్రికల్ పారామితులు | |||
| డోపాంట్ | n-రకం నైట్రోజన్ | ||
| రెసిస్టివిటీ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| మెకానికల్ పారామితులు | |||
| వ్యాసం | 150.0 ± 0.2మి.మీ | ||
| మందం | 350 ± 25 μm | ||
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | [1-100]±5° | ||
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 47.5 ± 1.5 మిమీ | ||
| సెకండరీ ఫ్లాట్ | ఏదీ లేదు | ||
| టిటివి | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| విల్లు | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| వార్ప్ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ముందు (Si-ముఖం) కరుకుదనం (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| నిర్మాణం | |||
| మైక్రోపైప్ సాంద్రత | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| మెటల్ మలినాలను | ≤5E10అణువులు/సెం2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ముందు నాణ్యత | |||
| ముందు | Si | ||
| ఉపరితల ముగింపు | Si-ఫేస్ CMP | ||
| పార్టికల్స్ | ≤60ea/వేఫర్ (పరిమాణం≥0.3μm) | NA | |
| గీతలు | ≤5ea/mm. సంచిత పొడవు ≤వ్యాసం | సంచిత పొడవు≤2*వ్యాసం | NA |
| నారింజ తొక్క/గుంటలు/మచ్చలు/పొరలు/ పగుళ్లు/కాలుష్యం | ఏదీ లేదు | NA | |
| ఎడ్జ్ చిప్స్/ఇండెంట్‌లు/ఫ్రాక్చర్/హెక్స్ ప్లేట్లు | ఏదీ లేదు | ||
| పాలిటైప్ ప్రాంతాలు | ఏదీ లేదు | సంచిత ప్రాంతం≤20% | సంచిత ప్రాంతం≤30% |
| ముందు లేజర్ మార్కింగ్ | ఏదీ లేదు | ||
| వెనుక నాణ్యత | |||
| తిరిగి ముగింపు | సి-ఫేస్ CMP | ||
| గీతలు | ≤5ea/mm, క్యుములేటివ్ పొడవు≤2*వ్యాసం | NA | |
| వెనుక లోపాలు (ఎడ్జ్ చిప్స్/ఇండెంట్‌లు) | ఏదీ లేదు | ||
| వెనుక కరుకుదనం | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| వెనుకకు లేజర్ మార్కింగ్ | 1 మిమీ (ఎగువ అంచు నుండి) | ||
| అంచు | |||
| అంచు | చాంఫెర్ | ||
| ప్యాకేజింగ్ | |||
| ప్యాకేజింగ్ | వాక్యూమ్ ప్యాకేజింగ్‌తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది బహుళ-వేఫర్ క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ | ||
| *గమనికలు: "NA" అంటే ఏ అభ్యర్థన లేని అంశాలు పేర్కొనబడని అంశాలు SEMI-STDని సూచించవచ్చు. | |||
