SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్

1. సుపీరియర్ మెటీరియల్ ప్రాపర్టీస్హై-గ్రేడ్ SiC నుండి నిర్మించబడిన, మా పొర ససెప్టర్లు అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తాయి. ఈ లక్షణాలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు తినివేయు వాయువులతో సహా MOCVD ప్రక్రియల యొక్క తీవ్రమైన పరిస్థితులను తట్టుకోగలవు, దీర్ఘాయువు మరియు విశ్వసనీయ పనితీరును నిర్ధారిస్తాయి.

2. ఎపిటాక్సియల్ నిక్షేపణలో ఖచ్చితత్వంమా SiC వేఫర్ ససెప్టర్ల యొక్క ఖచ్చితమైన ఇంజనీరింగ్ పొర ఉపరితలం అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, స్థిరమైన మరియు అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదలను సులభతరం చేస్తుంది. సరైన విద్యుత్ లక్షణాలతో సెమీకండక్టర్లను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఈ ఖచ్చితత్వం కీలకం.

3. మెరుగైన మన్నికదృఢమైన SiC మెటీరియల్ కఠినమైన ప్రక్రియ వాతావరణాలకు నిరంతరం బహిర్గతం అయినప్పటికీ, ధరించడానికి మరియు అధోకరణానికి అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది. ఈ మన్నిక ససెప్టర్ రీప్లేస్‌మెంట్ల ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తుంది, పనికిరాని సమయం మరియు కార్యాచరణ ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది.