సెమిసెరాSiC కాంటిలివర్ వేఫర్ పాడిల్ఆధునిక సెమీకండక్టర్ తయారీ డిమాండ్లను తీర్చడానికి రూపొందించబడింది. ఈపొర తెడ్డుఅద్భుతమైన మెకానికల్ బలం మరియు ఉష్ణ నిరోధకతను అందిస్తుంది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో పొరలను నిర్వహించడానికి కీలకం.
SiC కాంటిలివర్ డిజైన్ ఖచ్చితమైన పొర ప్లేస్మెంట్ను ఎనేబుల్ చేస్తుంది, హ్యాండ్లింగ్ సమయంలో దెబ్బతినే ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది. దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని నిర్వహించడానికి కీలకమైన తీవ్రమైన పరిస్థితులలో కూడా పొర స్థిరంగా ఉండేలా చేస్తుంది.
దాని నిర్మాణ ప్రయోజనాలతో పాటు, సెమిసెరా యొక్కSiC కాంటిలివర్ వేఫర్ పాడిల్బరువు మరియు మన్నికలో ప్రయోజనాలను కూడా అందిస్తుంది. తేలికపాటి నిర్మాణం ఇప్పటికే ఉన్న సిస్టమ్లను నిర్వహించడం మరియు ఏకీకృతం చేయడం సులభతరం చేస్తుంది, అయితే అధిక-సాంద్రత కలిగిన SiC మెటీరియల్ డిమాండ్ పరిస్థితులలో దీర్ఘకాలిక మన్నికను నిర్ధారిస్తుంది.
రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు | |
ఆస్తి | సాధారణ విలువ |
పని ఉష్ణోగ్రత (°C) | 1600°C (ఆక్సిజన్తో), 1700°C (పర్యావరణాన్ని తగ్గించడం) |
SiC కంటెంట్ | > 99.96% |
ఉచిత Si కంటెంట్ | < 0.1% |
బల్క్ డెన్సిటీ | 2.60-2.70 గ్రా/సెం3 |
స్పష్టమైన సచ్ఛిద్రత | < 16% |
కుదింపు బలం | > 600 MPa |
కోల్డ్ బెండింగ్ బలం | 80-90 MPa (20°C) |
హాట్ బెండింగ్ బలం | 90-100 MPa (1400°C) |
థర్మల్ విస్తరణ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
ఉష్ణ వాహకత @1200°C | 23 W/m•K |
సాగే మాడ్యులస్ | 240 GPa |
థర్మల్ షాక్ నిరోధకత | చాలా బాగుంది |