వివరణ
SiC కోటింగ్తో కూడిన సెమికోరెక్స్ వేఫర్ క్యారియర్లు అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు వాహకతను అందిస్తాయి, CVD ప్రక్రియల సమయంలో ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, అధిక-నాణ్యత థిన్ ఫిల్మ్ మరియు పూత లక్షణాలకు కీలకం.
ముఖ్య లక్షణాలు:
1. అత్యుత్తమ ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు వాహకతమా SiC-కోటెడ్ వేఫర్ క్యారియర్లు CVD ప్రక్రియలకు కీలకమైన స్థిరమైన మరియు స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రతలను నిర్వహించడంలో రాణిస్తాయి. ఇది ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది ఉన్నతమైన సన్నని చలనచిత్రం మరియు పూత నాణ్యతకు దారితీస్తుంది.
2. ప్రెసిషన్ తయారీప్రతి పొర క్యారియర్ ఖచ్చితమైన ప్రమాణాలకు తయారు చేయబడుతుంది, ఏకరీతి మందం మరియు ఉపరితల మృదుత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. బహుళ పొరలలో స్థిరమైన నిక్షేపణ రేట్లు మరియు ఫిల్మ్ ప్రాపర్టీలను సాధించడానికి, మొత్తం తయారీ నాణ్యతను మెరుగుపరచడానికి ఈ ఖచ్చితత్వం చాలా ముఖ్యమైనది.
3. అపరిశుభ్రత అవరోధంSiC పూత ఒక అభేద్యమైన అవరోధంగా పనిచేస్తుంది, ససెప్టర్ నుండి పొరలోకి మలినాలను వ్యాపించకుండా చేస్తుంది. ఇది కాలుష్య ప్రమాదాలను తగ్గిస్తుంది, ఇది అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సెమీకండక్టర్ పరికరాలను ఉత్పత్తి చేయడంలో కీలకం.
4. మన్నిక మరియు వ్యయ సామర్థ్యంబలమైన నిర్మాణం మరియు SiC పూత పొర క్యారియర్ల మన్నికను మెరుగుపరుస్తుంది, ససెప్టర్ రీప్లేస్మెంట్ల ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తుంది. ఇది తక్కువ నిర్వహణ ఖర్చులకు దారితీస్తుంది మరియు పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది, సెమీకండక్టర్ తయారీ కార్యకలాపాల సామర్థ్యాన్ని పెంచుతుంది.
5. అనుకూలీకరణ ఎంపికలుSiC కోటింగ్తో కూడిన సెమికోరెక్స్ వేఫర్ క్యారియర్లు నిర్దిష్ట ప్రక్రియ అవసరాలను తీర్చడానికి అనుకూలీకరించబడతాయి, పరిమాణం, ఆకారం మరియు పూత మందంతో సహా. ఈ సౌలభ్యం వివిధ సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ ప్రక్రియల యొక్క ప్రత్యేక డిమాండ్లకు సరిపోయేలా ససెప్టర్ యొక్క ఆప్టిమైజేషన్ను అనుమతిస్తుంది. అనుకూలీకరణ ఎంపికలు అధిక-వాల్యూమ్ తయారీ లేదా పరిశోధన మరియు అభివృద్ధి వంటి ప్రత్యేక అనువర్తనాల కోసం రూపొందించబడిన ససెప్టర్ డిజైన్ల అభివృద్ధిని ప్రారంభిస్తాయి, నిర్దిష్ట వినియోగ సందర్భాలలో సరైన పనితీరును నిర్ధారిస్తాయి.
అప్లికేషన్లు:
SiC కోటింగ్తో కూడిన సెమిసెరా వేఫర్ క్యారియర్లు దీనికి అనువైనవి:
• సెమీకండక్టర్ పదార్థాల ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల
• రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియలు
• అధిక-నాణ్యత సెమీకండక్టర్ పొరల ఉత్పత్తి
• అధునాతన సెమీకండక్టర్ తయారీ అప్లికేషన్లు