ఉత్పత్తి అవలోకనం
దిసిలికాన్-ఇంప్రెగ్నేటెడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పాడిల్ మరియు వేఫర్ క్యారియర్సెమీకండక్టర్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్ల డిమాండ్ అవసరాలకు అనుగుణంగా రూపొందించబడింది. అధిక-స్వచ్ఛత SiC నుండి రూపొందించబడింది మరియు సిలికాన్ ఇంప్రెగ్నేషన్ ద్వారా మెరుగుపరచబడింది, ఈ ఉత్పత్తి అధిక-ఉష్ణోగ్రత పనితీరు, అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు అత్యుత్తమ యాంత్రిక బలం యొక్క ప్రత్యేక కలయికను అందిస్తుంది.
అధునాతన మెటీరియల్ సైన్స్ను ఖచ్చితమైన తయారీతో అనుసంధానించడం ద్వారా, ఈ పరిష్కారం సెమీకండక్టర్ తయారీదారులకు అత్యుత్తమ పనితీరు, విశ్వసనీయత మరియు మన్నికను నిర్ధారిస్తుంది.
కీ ఫీచర్లు
1.అసాధారణమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత
2700°C కంటే ఎక్కువ ద్రవీభవన స్థానంతో, SiC పదార్థాలు తీవ్రమైన వేడిలో అంతర్గతంగా స్థిరంగా ఉంటాయి. సిలికాన్ ఫలదీకరణం వాటి ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని మరింత మెరుగుపరుస్తుంది, నిర్మాణ బలహీనత లేదా పనితీరు క్షీణత లేకుండా అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు ఎక్కువ కాలం బహిర్గతం కాకుండా తట్టుకోగలుగుతుంది.
2.సుపీరియర్ థర్మల్ కండక్టివిటీ
సిలికాన్-ఇంప్రెగ్నేటెడ్ SiC యొక్క అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, క్లిష్టమైన ప్రాసెసింగ్ దశలలో ఉష్ణ ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది. ఈ ప్రాపర్టీ పరికరాల జీవితకాలాన్ని పొడిగిస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత థర్మల్ ప్రాసెసింగ్కు అనువైనదిగా చేస్తుంది.
3.ఆక్సీకరణ మరియు తుప్పు నిరోధకత
ఒక బలమైన సిలికాన్ ఆక్సైడ్ పొర సహజంగా ఉపరితలంపై ఏర్పడుతుంది, ఇది ఆక్సీకరణ మరియు తుప్పుకు అత్యుత్తమ ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది. ఇది కఠినమైన ఆపరేటింగ్ పరిసరాలలో దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది, పదార్థం మరియు పరిసర భాగాలు రెండింటినీ రక్షిస్తుంది.
4.అధిక మెకానికల్ బలం మరియు వేర్ రెసిస్టెన్స్
సిలికాన్-ఇంప్రిగ్నేటెడ్ SiC అద్భుతమైన సంపీడన బలం మరియు దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, అధిక-లోడ్, అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో దాని నిర్మాణ సమగ్రతను నిర్వహిస్తుంది. ఇది దుస్తులు-సంబంధిత నష్టం ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది, పొడిగించిన వినియోగ చక్రాలపై స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.
స్పెసిఫికేషన్లు
ఉత్పత్తి పేరు | SC-RSiC-Si |
మెటీరియల్ | సిలికాన్ ఇంప్రెగ్నేషన్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంపాక్ట్ (అధిక స్వచ్ఛత) |
అప్లికేషన్లు | సెమీకండక్టర్ హీట్ ట్రీట్మెంట్ పార్ట్స్, సెమీకండక్టర్ తయారీ ఎక్విప్మెంట్ పార్ట్స్ |
డెలివరీ రూపం | మౌల్డ్ బాడీ (సింటర్డ్ బాడీ) |
కూర్పు | మెకానికల్ ప్రాపర్టీ | యంగ్స్ మాడ్యులస్ (GPa) | బెండింగ్ బలం (MPa) | ||
కూర్పు (వాల్యూమ్%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
బల్క్ డెన్సిటీ (kg/m³) | 3.02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
ఉష్ణనిరోధక ఉష్ణోగ్రత°C | 1350 | పాయిజన్ నిష్పత్తి | 0.18(RT) | ||
థర్మల్ ప్రాపర్టీ | ఉష్ణ వాహకత (W/(m· K)) | నిర్దిష్ట ఉష్ణ సామర్థ్యం (kJ/(kg·K)) | థర్మల్ విస్తరణ యొక్క గుణకం (1/K) | ||
RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3.4 x 10-6 | |
700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4.3 x10-6 |
అశుద్ధ కంటెంట్ ((ppm) | |||||||||||||
మూలకం | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
కంటెంట్ రేటు | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
అప్లికేషన్లు
▪సెమీకండక్టర్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్:రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD), ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల మరియు ఎనియలింగ్ వంటి ప్రక్రియలకు అనువైనది, ఇక్కడ ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ మరియు పదార్థ మన్నిక కీలకం.
▪వేఫర్ క్యారియర్లు & తెడ్డులు:అధిక-ఉష్ణోగ్రత థర్మల్ చికిత్సల సమయంలో పొరలను సురక్షితంగా ఉంచడానికి మరియు రవాణా చేయడానికి రూపొందించబడింది.
▪ఎక్స్ట్రీమ్ ఆపరేటింగ్ ఎన్విరాన్మెంట్స్: వేడి, రసాయన బహిర్గతం మరియు యాంత్రిక ఒత్తిడికి నిరోధకత అవసరమయ్యే సెట్టింగ్లకు అనుకూలం.
సిలికాన్-ఇంప్రెగ్నేటెడ్ SiC యొక్క ప్రయోజనాలు
అధిక స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ మరియు అధునాతన సిలికాన్ ఇంప్రెగ్నేషన్ టెక్నాలజీ కలయిక అసమానమైన పనితీరు ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది:
▪ఖచ్చితత్వం:సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు నియంత్రణను మెరుగుపరుస్తుంది.
▪స్థిరత్వం:కార్యాచరణలో రాజీ పడకుండా కఠినమైన వాతావరణాలను తట్టుకుంటుంది.
▪దీర్ఘాయువు:సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.
▪సమర్థత:విశ్వసనీయ మరియు స్థిరమైన ఫలితాలను నిర్ధారించడం ద్వారా ఉత్పాదకతను మెరుగుపరుస్తుంది.
మా సిలికాన్-ఇంప్రెగ్నేటెడ్ SiC సొల్యూషన్లను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?
At సెమిసెరా, మేము సెమీకండక్టర్ తయారీదారుల అవసరాలకు అనుగుణంగా అధిక-పనితీరు గల పరిష్కారాలను అందించడంలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము. మా సిలికాన్-ఇంప్రెగ్నేటెడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పాడిల్ మరియు వేఫర్ క్యారియర్ పరిశ్రమ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా కఠినమైన పరీక్ష మరియు నాణ్యత హామీని పొందుతాయి. సెమిసెరాను ఎంచుకోవడం ద్వారా, మీరు మీ తయారీ ప్రక్రియలను ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి మరియు మీ ఉత్పత్తి సామర్థ్యాలను మెరుగుపరచడానికి రూపొందించిన అత్యాధునిక మెటీరియల్లకు ప్రాప్యతను పొందుతారు.
సాంకేతిక లక్షణాలు
▪మెటీరియల్ కంపోజిషన్:సిలికాన్ ఇంప్రెగ్నేషన్తో అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్.
▪ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత పరిధి:2700°C వరకు.
▪ ఉష్ణ వాహకత:ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీకి అసాధారణంగా ఎక్కువ.
▪నిరోధక లక్షణాలు:ఆక్సీకరణ, తుప్పు మరియు దుస్తులు-నిరోధకత.
▪అప్లికేషన్లు:వివిధ సెమీకండక్టర్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ సిస్టమ్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
మమ్మల్ని సంప్రదించండి
మీ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియను ఎలివేట్ చేయడానికి సిద్ధంగా ఉన్నారా? సంప్రదించండిసెమిసెరామా సిలికాన్-ఇంప్రెగ్నేటెడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పాడిల్ మరియు వేఫర్ క్యారియర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజు.
▪ఇమెయిల్: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪ఫోన్: +86-0574-8650 3783
▪స్థానం:నెం.1958 జియాంగ్నాన్ రోడ్, నింగ్బో హైటెక్, జోన్, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, 315201, చైనా