CVD TaC పూత

CVD TaC కోటింగ్‌కు పరిచయం:

CVD TaC కోటింగ్ అనేది టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూతను సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై జమ చేయడానికి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణను ఉపయోగించే సాంకేతికత. టాంటాలమ్ కార్బైడ్ అనేది అద్భుతమైన యాంత్రిక మరియు రసాయన లక్షణాలతో కూడిన అధిక-పనితీరు గల సిరామిక్ పదార్థం. CVD ప్రక్రియ గ్యాస్ రియాక్షన్ ద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఏకరీతి TaC ఫిల్మ్‌ను ఉత్పత్తి చేస్తుంది.

ప్రధాన లక్షణాలు:

అద్భుతమైన కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకత: టాంటాలమ్ కార్బైడ్ చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం కలిగి ఉంటుంది మరియు CVD TaC పూత ఉపరితలం యొక్క దుస్తులు నిరోధకతను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది. కట్టింగ్ టూల్స్ మరియు అచ్చులు వంటి అధిక-ధరించే వాతావరణంలో అప్లికేషన్‌లకు ఇది పూతను అనువైనదిగా చేస్తుంది.

అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం: TaC పూతలు 2200°C వరకు ఉష్ణోగ్రతల వద్ద క్లిష్టమైన ఫర్నేస్ మరియు రియాక్టర్ భాగాలను రక్షిస్తాయి, మంచి స్థిరత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తాయి. ఇది తీవ్ర ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో రసాయన మరియు యాంత్రిక స్థిరత్వాన్ని నిర్వహిస్తుంది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో అనువర్తనాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం: టాంటాలమ్ కార్బైడ్ చాలా ఆమ్లాలు మరియు ఆల్కాలిస్‌లకు బలమైన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు CVD TaC పూత తినివేయు వాతావరణంలో ఉపరితలానికి జరిగే నష్టాన్ని సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు.

అధిక ద్రవీభవన స్థానం: టాంటాలమ్ కార్బైడ్ అధిక ద్రవీభవన స్థానం (సుమారు 3880°C) కలిగి ఉంటుంది, ఇది CVD TaC కోటింగ్‌ను కరగకుండా లేదా అధోకరణం చేయకుండా తీవ్ర అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితుల్లో ఉపయోగించడానికి అనుమతిస్తుంది.

అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత: TaC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో వేడిని సమర్థవంతంగా వెదజల్లడానికి మరియు స్థానిక వేడెక్కడాన్ని నిరోధించడానికి సహాయపడుతుంది.

సంభావ్య అప్లికేషన్లు:

• గాలియం నైట్రైడ్ (GaN) మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ CVD రియాక్టర్ కాంపోనెంట్‌లు వేఫర్ క్యారియర్లు, శాటిలైట్ డిష్‌లు, షవర్ హెడ్‌లు, సీలింగ్‌లు మరియు ససెప్టర్లతో సహా

• సిలికాన్ కార్బైడ్, గాలియం నైట్రైడ్ మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) క్రూసిబుల్స్, సీడ్ హోల్డర్‌లు, గైడ్ రింగ్‌లు మరియు ఫిల్టర్‌లతో సహా క్రిస్టల్ గ్రోత్ భాగాలు

• రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్, ఇంజెక్షన్ నాజిల్స్, మాస్కింగ్ రింగులు మరియు బ్రేజింగ్ జిగ్‌లతో సహా పారిశ్రామిక భాగాలు

అప్లికేషన్ లక్షణాలు:

• ఉష్ణోగ్రత 2000°C కంటే స్థిరంగా ఉంటుంది, తీవ్ర ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఆపరేషన్‌ను అనుమతిస్తుంది
•హైడ్రోజన్ (Hz), అమ్మోనియా (NH3), మోనోసిలేన్ (SiH4) మరియు సిలికాన్ (Si)లకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది కఠినమైన రసాయన వాతావరణంలో రక్షణను అందిస్తుంది
• దీని థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ వేగవంతమైన ఆపరేటింగ్ సైకిళ్లను అనుమతిస్తుంది
• గ్రాఫైట్ బలమైన సంశ్లేషణను కలిగి ఉంటుంది, సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని మరియు పూత డీలామినేషన్ లేకుండా ఉంటుంది.
• అనవసరమైన మలినాలను లేదా కలుషితాలను తొలగించడానికి అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత
• గట్టి డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్‌లకు కన్ఫార్మల్ కోటింగ్ కవరేజ్

సాంకేతిక లక్షణాలు:

CVD ద్వారా దట్టమైన టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూతలను తయారు చేయడం: