సెమిసెరా పరిశ్రమలో అగ్రగామిగా ఉందిపొర వాహకాలు, తయారీ ప్రక్రియ యొక్క వివిధ దశలలో సున్నితమైన సెమీకండక్టర్ పొరల యొక్క ఉన్నతమైన రక్షణ మరియు అతుకులు లేని రవాణాను అందించడానికి ఇంజనీరింగ్ చేయబడింది. మాపొర వాహకాలుఆధునిక సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ యొక్క కఠినమైన డిమాండ్లను తీర్చడానికి, మీ పొరల యొక్క సమగ్రత మరియు నాణ్యతను ఎల్లవేళలా నిర్వహించబడుతున్నాయని నిర్ధారిస్తుంది.
ముఖ్య లక్షణాలు:
• ప్రీమియం మెటీరియల్ నిర్మాణం:మన్నిక మరియు దీర్ఘాయువుకు హామీ ఇచ్చే అధిక-నాణ్యత, కాలుష్య-నిరోధక పదార్థాల నుండి రూపొందించబడింది, వాటిని క్లీన్‌రూమ్ పరిసరాలకు అనువైనదిగా చేస్తుంది.
•ఖచ్చితమైన డిజైన్:హ్యాండ్లింగ్ మరియు రవాణా సమయంలో పొర జారడం మరియు నష్టం జరగకుండా నిరోధించడానికి ఖచ్చితమైన స్లాట్ అమరిక మరియు సురక్షిత హోల్డింగ్ మెకానిజమ్‌లను కలిగి ఉంటుంది.
•బహుముఖ అనుకూలత:వివిధ సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్‌లకు సౌలభ్యాన్ని అందిస్తూ, విస్తృత శ్రేణి పొర పరిమాణాలు మరియు మందాలను కలిగి ఉంటుంది.
•ఎర్గోనామిక్ హ్యాండ్లింగ్:తేలికైన మరియు వినియోగదారు-స్నేహపూర్వక డిజైన్ సులభంగా లోడ్ చేయడం మరియు అన్‌లోడ్ చేయడం, కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది మరియు నిర్వహణ సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది.
•అనుకూలీకరించదగిన ఎంపికలు:మెటీరియల్ ఎంపిక, పరిమాణ సర్దుబాట్లు మరియు ఆప్టిమైజ్ చేసిన వర్క్‌ఫ్లో ఇంటిగ్రేషన్ కోసం లేబులింగ్‌తో సహా నిర్దిష్ట అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరణను అందిస్తుంది.
సెమిసెరాతో మీ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియను మెరుగుపరచండిపొర వాహకాలు, కాలుష్యం మరియు యాంత్రిక నష్టం నుండి మీ పొరలను రక్షించడానికి సరైన పరిష్కారం. మీ కార్యకలాపాలు సజావుగా మరియు సమర్ధవంతంగా సాగేలా చూసేందుకు, పరిశ్రమ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా మాత్రమే కాకుండా మించిన ఉత్పత్తులను అందించడానికి నాణ్యత మరియు ఆవిష్కరణల పట్ల మా నిబద్ధతపై నమ్మకం ఉంచండి.
| వస్తువులు | ఉత్పత్తి | పరిశోధన | డమ్మీ |
| క్రిస్టల్ పారామితులు | |||
| పాలీటైప్ | 4H | ||
| ఉపరితల ధోరణి లోపం | <11-20 >4±0.15° | ||
| ఎలక్ట్రికల్ పారామితులు | |||
| డోపాంట్ | n-రకం నైట్రోజన్ | ||
| రెసిస్టివిటీ | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| మెకానికల్ పారామితులు | |||
| వ్యాసం | 150.0 ± 0.2మి.మీ | ||
| మందం | 350 ± 25 μm | ||
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ ఓరియంటేషన్ | [1-100]±5° | ||
| ప్రాథమిక ఫ్లాట్ పొడవు | 47.5 ± 1.5 మిమీ | ||
| సెకండరీ ఫ్లాట్ | ఏదీ లేదు | ||
| టిటివి | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| విల్లు | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| వార్ప్ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ముందు (Si-ముఖం) కరుకుదనం (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| నిర్మాణం | |||
| మైక్రోపైప్ సాంద్రత | <1 EA/cm2 | <10 EA/cm2 | <15 EA/cm2 |
| మెటల్ మలినాలను | ≤5E10అణువులు/సెం2 | NA | |
| BPD | ≤1500 EA/cm2 | ≤3000 EA/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 EA/cm2 | ≤1000 EA/cm2 | NA |
| ముందు నాణ్యత | |||
| ముందు | Si | ||
| ఉపరితల ముగింపు | Si-ఫేస్ CMP | ||
| పార్టికల్స్ | ≤60ea/వేఫర్ (పరిమాణం≥0.3μm) | NA | |
| గీతలు | ≤5ea/mm. సంచిత పొడవు ≤వ్యాసం | సంచిత పొడవు≤2*వ్యాసం | NA |
| నారింజ తొక్క/గుంటలు/మచ్చలు/పొరలు/ పగుళ్లు/కాలుష్యం | ఏదీ లేదు | NA | |
| ఎడ్జ్ చిప్స్/ఇండెంట్‌లు/ఫ్రాక్చర్/హెక్స్ ప్లేట్లు | ఏదీ లేదు | ||
| పాలిటైప్ ప్రాంతాలు | ఏదీ లేదు | సంచిత ప్రాంతం≤20% | సంచిత ప్రాంతం≤30% |
| ముందు లేజర్ మార్కింగ్ | ఏదీ లేదు | ||
| వెనుక నాణ్యత | |||
| తిరిగి ముగింపు | సి-ఫేస్ CMP | ||
| గీతలు | ≤5ea/mm, క్యుములేటివ్ పొడవు≤2*వ్యాసం | NA | |
| వెనుక లోపాలు (ఎడ్జ్ చిప్స్/ఇండెంట్‌లు) | ఏదీ లేదు | ||
| వెనుక కరుకుదనం | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| వెనుకకు లేజర్ మార్కింగ్ | 1 మిమీ (ఎగువ అంచు నుండి) | ||
| అంచు | |||
| అంచు | చాంఫెర్ | ||
| ప్యాకేజింగ్ | |||
| ప్యాకేజింగ్ | వాక్యూమ్ ప్యాకేజింగ్‌తో ఎపి-సిద్ధంగా ఉంది బహుళ-వేఫర్ క్యాసెట్ ప్యాకేజింగ్ | ||
| *గమనికలు: "NA" అంటే ఏ అభ్యర్థన లేని అంశాలు పేర్కొనబడని అంశాలు SEMI-STDని సూచించవచ్చు. | |||
