వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ చేయిసెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో నిర్వహించడానికి, బదిలీ చేయడానికి మరియు స్థానానికి ఉపయోగించే కీలక పరికరంపొరలు. ఇది సాధారణంగా రోబోటిక్ చేయి, గ్రిప్పర్ మరియు నియంత్రణ వ్యవస్థను కలిగి ఉంటుంది, ఇది ఖచ్చితమైన కదలిక మరియు స్థాన సామర్థ్యాలతో ఉంటుంది.వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ చేతులుసెమీకండక్టర్ తయారీలో వివిధ లింక్‌లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వీటిలో వేఫర్ లోడింగ్, క్లీనింగ్, థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్, ఎచింగ్, లితోగ్రఫీ మరియు ఇన్‌స్పెక్షన్ వంటి ప్రక్రియ దశలు ఉన్నాయి. ఉత్పత్తి ప్రక్రియ యొక్క నాణ్యత, సామర్థ్యం మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి దాని ఖచ్చితత్వం, విశ్వసనీయత మరియు ఆటోమేషన్ సామర్థ్యాలు అవసరం.
వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ఆర్మ్ యొక్క ప్రధాన విధులు:
1. వేఫర్ బదిలీ: వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ఆర్మ్, స్టోరేజ్ రాక్ నుండి పొరలను తీసుకోవడం మరియు వాటిని ప్రాసెసింగ్ పరికరంలో ఉంచడం వంటి పొరలను ఒక ప్రదేశం నుండి మరొక ప్రదేశానికి ఖచ్చితంగా బదిలీ చేయగలదు.
2. పొజిషనింగ్ మరియు ఓరియంటేషన్: వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ఆర్మ్, తదుపరి ప్రాసెసింగ్ లేదా కొలత కార్యకలాపాల కోసం సరైన అమరిక మరియు స్థానాన్ని నిర్ధారించడానికి పొరను ఖచ్చితంగా ఉంచగలదు మరియు ఓరియంట్ చేయగలదు.
3. బిగించడం మరియు విడుదల చేయడం: వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ఆయుధాలు సాధారణంగా గ్రిప్పర్‌లతో అమర్చబడి ఉంటాయి, ఇవి పొరలను సురక్షితంగా బిగించగలవు మరియు పొరల యొక్క సురక్షితమైన బదిలీ మరియు నిర్వహణను నిర్ధారించడానికి అవసరమైనప్పుడు వాటిని విడుదల చేయగలవు.
4. ఆటోమేటెడ్ కంట్రోల్: వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ఆర్మ్ అధునాతన నియంత్రణ వ్యవస్థతో అమర్చబడి ఉంటుంది, ఇది ముందుగా నిర్ణయించిన యాక్షన్ సీక్వెన్స్‌లను స్వయంచాలకంగా అమలు చేయగలదు, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది మరియు మానవ లోపాలను తగ్గిస్తుంది.
లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలు
1.ఖచ్చితమైన కొలతలు మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం.
2.High నిర్దిష్ట దృఢత్వం మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ ఏకరూపత, దీర్ఘ-కాల ఉపయోగం వైకల్యాన్ని వంచడం సులభం కాదు.
3.ఇది మృదువైన ఉపరితలం మరియు మంచి దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, తద్వారా కణ కాలుష్యం లేకుండా చిప్‌ను సురక్షితంగా నిర్వహిస్తుంది.
4. 106-108Ωలో సిలికాన్ కార్బైడ్ రెసిస్టివిటీ, నాన్-మాగ్నెటిక్, యాంటీ-ESD స్పెసిఫికేషన్ అవసరాలకు అనుగుణంగా; ఇది చిప్ యొక్క ఉపరితలంపై స్థిర విద్యుత్ చేరడం నిరోధించవచ్చు.
5.మంచి ఉష్ణ వాహకత, తక్కువ విస్తరణ గుణకం.
